广州黄埔:鼓励发展高端半导体和传感器材料 打造中国集成电路产业第三极核心承载区
日期:2025-06-17 14:24 点击数:283
鼓励发展光掩模、电子气体、光刻胶、抛光材料、高纯靶材等高端半导体和传感器制造材料。积极引进国内重点基础材料企业,稳步提升关键基础材料供应能力。重点围绕集成电路制造关键部件和系统集成开展持续研发和技术攻关,支持光刻、清洗、刻蚀、离子注入、沉积等设备、关键零部件及工具国产化替代。完善投融资环境,争取国家、省、市集成电路基金支持。充分发挥区科技创新创业投资母基金等基金平台作用,支持国企基金等加大与集成电路企业的合作。(广州市黄埔区人民政府)